在精密光學實驗、掃描探針顯微鏡(SPM)、電子顯微鏡、納米壓痕、激光干涉測量及高精度計量領域,振動是影響數據準確性的關鍵。氣浮隔振平臺利用壓縮氣體在平臺與基座間形成微米級氣膜,有效隔離來自地面、設備或人員走動的低頻振動(1-30Hz),為精密儀器提供穩定的環境。然而,其性能發揮高度依賴正確的安裝與操作方法。掌握氣浮隔振平臺的科學使用技巧,是駕馭它的關鍵。

一、環境選擇
平臺應放置于遠離大型機械、電梯、空壓機等強振源的實驗室區域。地面需堅實、平整、無明顯傾斜。避免陽光直射或空調出風口直吹,防止溫度梯度引起空氣擾動。確保周圍有足夠的操作空間,便于氣路連接與儀器布置。
二、水平調節
使用高精度水平儀(分度值≤0.02mm/m)調整平臺底部的可調支腳,使臺面在X、Y方向均達到精確水平。水平偏差過大會導致氣膜厚度不均,影響浮升高度與隔振效果,甚至造成平臺單側接觸基座。
三、氣源準備
氣浮平臺需潔凈、干燥、穩定的壓縮空氣(通常壓力為0.4–0.7MPa)。必須配備三級過濾器(除水、除油、除塵)和穩壓閥,防止雜質堵塞微小氣孔或造成壓力波動。建議使用無油空壓機,避免潤滑油污染精密表面。
四、加載與分布
放置儀器時,確保總重量不超過平臺額定承載能力。儀器應盡量居中布置,避免偏載導致平臺傾斜。重型設備宜置于中心區域,輕型附件分布四周,維持質量分布均衡。
五、啟動與浮升
先開啟氣源,緩慢打開進氣閥門,讓平臺平穩升起至設計浮升高度(通常5–20μm)。觀察平臺是否平穩懸浮,有無晃動或局部觸碰。待平臺穩定后(約1-2分鐘),再啟動精密儀器進行測量。
六、運行維護與安全
實驗結束后,先關閉儀器電源,再緩慢釋放氣源,讓平臺平穩降落;
定期檢查氣路接頭有無漏氣,清潔過濾器濾芯;
臺面保持清潔,避免金屬碎屑或液體流入氣孔;
嚴禁在平臺上進行敲擊、鉆孔等產生沖擊的操作。