STACIS®III主動隔振系統主動光學平臺

STACIS®III是*的主動振動隔離系統。采用*的慣性振動傳感器，復雜的控制算法，和*的壓電致動器。STACIS通過連續(xù)測量地板活動、擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時隔離振動。
初被設計用于*半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備的隔振，STACIS現在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案，包括但不局限于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備

Stacis III包括一個新型改進的數字控制器－DC-2020。 它搭載全新高效的雙核處理囂， 前后面板上都配備以太網和USB串口，新型*控制系統為用戶提供了一個現代 的、 易于使用的圖形用戶界面（GU幣。
Stacis III在世界各地有數百個成功安裝案例， 對于大部分振動敏感儀器來說都是理想的振動清除系統。

STACIS®III主動隔振系統主動光學平臺STACIS相比于氣浮支腿更加堅固可靠， 且不存在氣浮隔振系統離不開氣源的局限 性． 它元氣浮支撐， 并且與主動的氣浮系統不同， STACIS可以放置在具有內部主動空 氣隔離系統的設備下面， 且兩個隔振系統相互兼容．
設計有*的通信串口和專有high-force壓電技術導致其具有大的主動帶寬0.6赫茲到150赫茲， 以及從2Hz開始主動振動消除性能可達至90%。

性能級參數：

應用案例：