TMC氣動隔振系統是追求高隔振性能的超精密儀器的工具設計師的手選解決方案。TMC現在提供行業標準的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器，它們有不同的承重能力、阻尼水平和調平版本可供選擇，適合各種應用。

這些隔振器是OEM應用的理想選擇，采用模塊化、可互換和可升級的設計。此外，為了確保您定的版本能夠滿足您的穩定時間和隔振要求，TMC工程師可以使用我們的“移動工作臺應用程序模型"為您的配置進行建模。

超高阻尼空氣隔振器適用大型設備LCD光刻機

UltraDamp™隔振器

TMC現在提供更主動的阻尼UltraDamp™。適用于需要快速穩定有效載荷的高力、高速XY電動工作臺的有效載荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平，可確保空氣隔振器的共振頻率不會超過3-5 dB。適用于LCD、PVC檢測、光刻機以及其他具有高力電動工作臺的儀器。

優點：

結合了自調平Gimbal Piston™空氣隔振器的優勢，并具有極其主動的阻尼作用

非常適合具有機器人運動或電動工作臺的有效載荷，可提供所需的隔振并主動穩定有效負載引起的運動

更快的工具吞吐量和更高的產量

從4-5 Hz開始的水平和垂直隔振

共振的最小放大（3-5 dB） 模塊化設計。可升級到Electro-Damp®主動消振

性能：

比較GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平

超高阻尼空氣隔振器適用大型設備LCD光刻機

應用照片：